Physik Instrumente（PI）納米定位 執(zhí)行器

L-306·0111·00

緊湊型精密Z向位移臺(tái)，13毫米行程，20牛負(fù)載容量，步進(jìn)電機(jī) ，含3米成套電纜

L-306·0111·12

緊湊型精密Z向位移臺(tái)，13毫米行程，20牛負(fù)載容量，步進(jìn)電機(jī)，帶A/B正交信號(hào)傳輸?shù)木€性編碼器，5納米傳感器分辨率 ，含3米成套電纜

L-306·.0131·12

緊湊型精密Z向位移臺(tái)，13毫米行程，20牛負(fù)載容量，直流電機(jī)，帶A/B正交信號(hào)傳輸?shù)木€性編碼器，50納米傳感器分辨率 ，含3米成套電纜

德國(guó)Physik Instrumente (PI) GmbH & Co.KG成立于1970年，一直致力于微米與納米定位技術(shù)的研發(fā)與制造。PI代表著技術(shù)性能，定位精度可達(dá)納米。PI可獲得的組件獨(dú)立于市場(chǎng)上，并提供超越現(xiàn)有技術(shù)水平的單獨(dú)解決方案。高度的靈活性為PI的客戶提供了顯著的競(jìng)爭(zhēng)優(yōu)勢(shì)。

Physik Instrumente (PI)主要產(chǎn)品：

線性平臺(tái)和執(zhí)行器

電動(dòng)旋轉(zhuǎn)平臺(tái)和測(cè)角器

XY平臺(tái)

六足/平行運(yùn)動(dòng)

訂購(gòu)信息

N-565.160

精密線性定位平臺(tái)，行程為13毫米，PIOne線性編碼器，分辨率為0.5納米，驅(qū)動(dòng)力為10牛，尺寸為65 × 80 ×

20毫米（寬 × 長(zhǎng) × 高），NEXACT壓電步進(jìn)驅(qū)動(dòng)器

N-565.260

精密線性定位平臺(tái)，行程為26毫米，PIOne線性編碼器，分辨率為0.5納米，驅(qū)動(dòng)力為10牛，尺寸為65 × 110 ×

20毫米（寬 × 長(zhǎng) × 高），NEXACT壓電步進(jìn)驅(qū)動(dòng)器

N-565.360

精密線性定位平臺(tái)，行程為52毫米，PIOne線性編碼器，分辨率為0.5納米，驅(qū)動(dòng)力為10牛，尺寸為65 × 160 ×

20毫米（寬 × 長(zhǎng) × 高），NEXACT壓電步進(jìn)驅(qū)動(dòng)器

帶有由電動(dòng)機(jī)驅(qū)動(dòng)的機(jī)械導(dǎo)軌的定位和運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)是自動(dòng)化過程中的核心組件。這正是PI miCos擁有其核心專業(yè)知識(shí)的地方。已經(jīng)有廣泛的精密軸，適用于個(gè)人應(yīng)用和OEM客戶。 PI miCos在Eschbach將PIMag®線性電動(dòng)機(jī)，由PI開發(fā)的現(xiàn)代電動(dòng)機(jī)（例如DC（BLDC），AC或步進(jìn)電動(dòng)機(jī)）集成到高精度，機(jī)械引導(dǎo)的
行程為80、170和250毫米
增量或式線性編碼器，多種分辨率
用于實(shí)現(xiàn)高負(fù)載能力的交叉滾柱導(dǎo)軌
無鐵芯或鐵芯線性電機(jī)
緊湊的橫截面：80毫米 × 25毫米
適應(yīng)能力強(qiáng)
構(gòu)造可實(shí)現(xiàn)需求的靈活適應(yīng)。通過采用不同的行程、驅(qū)動(dòng)器和測(cè)量系統(tǒng)，產(chǎn)品可同樣適用于技術(shù)復(fù)雜、臨界成本應(yīng)用。XY組件也可實(shí)現(xiàn)

交叉滾柱導(dǎo)軌
對(duì)于交叉滾柱導(dǎo)軌，滾珠導(dǎo)軌中的滾珠的接觸點(diǎn)被淬火滾柱的線接觸取代。因此，它們的剛度明顯提高，需要的預(yù)載更小，這減少了摩擦并實(shí)現(xiàn)了更平滑的運(yùn)行。交叉滾柱導(dǎo)軌還具有高導(dǎo)向精度和高負(fù)載能力的特征。力導(dǎo)向滾動(dòng)體保持架防止保持架蠕變。

應(yīng)用領(lǐng)域
工業(yè)和科研。半導(dǎo)體或醫(yī)學(xué)技術(shù)中的測(cè)量技術(shù)、光子學(xué)及精密掃描

PIMag磁力直接驅(qū)動(dòng)
三相磁性直接驅(qū)動(dòng)器在動(dòng)力傳動(dòng)系統(tǒng)中未使用機(jī)械零件，其可直接將驅(qū)動(dòng)力傳輸至運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，且無摩擦。驅(qū)動(dòng)器可實(shí)現(xiàn)高速度和高加速度。

無鐵芯電機(jī)非常適合對(duì)精度有超高要求的定位任務(wù)，因?yàn)槠洳粫?huì)與性磁鐵發(fā)生不良作用。這樣即使在低的速度下也能保持平穩(wěn)的運(yùn)行，同時(shí)，在高速狀態(tài)下也不會(huì)產(chǎn)生振動(dòng)。避免了控制的非線性行為并且每個(gè)位置都很容易控制。驅(qū)動(dòng)力可任意設(shè)定。

力和加速度需要在有限安裝空間內(nèi)實(shí)現(xiàn)時(shí)，使用鐵芯電機(jī)。鐵芯設(shè)計(jì)使磁力，確保驅(qū)動(dòng)器的高熱穩(wěn)定性。

直接位置測(cè)量
以*的精度直接在運(yùn)動(dòng)平臺(tái)上進(jìn)行位置測(cè)量，因此非線性效應(yīng)、機(jī)械作用或彈性形變不會(huì)對(duì)位置測(cè)量造成影響

Physik Instrumente （PI） 直接位置測(cè)量 傳感器 實(shí)驗(yàn)用

PI (Physik Instrumente) P-542.PD1 用于P-54x納米定位系統(tǒng)的培養(yǎng)皿支架，35 毫米 P-542.SH1 用于P-54x納米定位系統(tǒng)的顯微鏡載片支架

PI (Physik Instrumente) P-611.2S XY向納米定位系統(tǒng)，100微米 × 100微米，應(yīng)變片傳感器

PI (Physik Instrumente) P-611.20 XY向納米定位系統(tǒng)，100微米 × 100微米，不帶傳感器

PI (Physik Instrumente) P-611.XZS XZ向納米定位系統(tǒng)，100微米 × 100微米，應(yīng)變片傳感器

PI (Physik Instrumente) P-611.XZ0 XZ向納米定位系統(tǒng)，100微米 × 100微米，不帶傳感器

PI (Physik Instrumente) P-612.20L XY 向納米定位系統(tǒng)，130微米 × 130微米，孔徑為20毫米 × 20毫米，開環(huán)

PI (Physik Instrumente) P-612.2SL XY 向納米定位系統(tǒng)，100微米 × 100微米，孔徑為20毫米 × 20毫米，應(yīng)變片傳感器

PI (Physik Instrumente) P-620.2CD 精密PIHera XY向納米定位系統(tǒng)，50微米 × 50微米，直接位置測(cè)量，電容傳感器，Sub-D連接器

PI (Physik Instrumente) P-621.2CD 精密PIHera XY向納米定位系統(tǒng)，100微米 × 100微米，直接位置測(cè)量，電容傳感器，Sub-D連接器

PI (Physik Instrumente) P-622.2CD 精密PIHera XY向納米定位系統(tǒng)，250微米 × 250微米，直接位置測(cè)量，電容傳感器，Sub-D連接器

PI (Physik Instrumente) P-625.2CD 精密PIHera XY向納米定位系統(tǒng)，500微米 × 500微米，直接位置測(cè)量，電容傳感器，Sub-D連接器

PI (Physik Instrumente) P-628.2CD 精密PIHera XY向納米定位系統(tǒng)，800微米 × 800微米，直接位置測(cè)量，電容傳感器，Sub-D連接器

PI (Physik Instrumente) P-629.2CD 精密PIHera XY向納米定位系統(tǒng)，1500微米 × 1500微米，直接位置測(cè)量，電容傳感器，Sub-D連接器

PI (Physik Instrumente) P-620.2CL 精密PIHera XY向納米定位系統(tǒng)，50微米 × 50微米，直接位置測(cè)量，電容傳感器，LEMO連接器

PI (Physik Instrumente) P-621.2CL 精密PIHera XY向納米定位系統(tǒng)，100微米 × 100微米，直接位置測(cè)量，電容傳感器，LEMO連接器

Physik Instrumente （PI）線性平臺(tái)進(jìn)口 N-565.360

  Physik Instrumente (PI)-P-613

  Physik Instrumente (PI)-P-630

  Physik Instrumente (PI)-P-712

  Physik Instrumente (PI)-P-725

  Physik Instrumente (PI)-S-330

  Physik Instrumente (PI)-S-335

  Physik Instrumente (PI)-S-340

  Physik Instrumente (PI)-U-523

  Physik Instrumente (PI)-V-408

  Physik Instrumente (PI)-V-741

Physik Instrumente（PI）納米定位 執(zhí)行器