PIEZOSYSTEM  緊湊型納米定位測量器

HS1H是一款緊湊型納米定位器，可以組合成2軸甚至3軸納米定位系統(tǒng)。它提供 10、30、50、70 或 100μm 的運動范圍，

中心孔徑為 33 mm，是光學顯微鏡應用的理想選擇。由于采用直接驅動結構，它具有特別快的步進響應時間。

該納米定位器是我們高速產(chǎn)品線的一部分（提供高功率控制器）。

PIEZOCONCEPT

運動范圍 Z （μm） 100 - 200 - 300 - 500

速度標準

孔徑 128.5 x 86.5 mm

“孔板尺寸"

PiezoCconcept 納米定位系統(tǒng)HS1.10具有10µm的運動范圍和0.01nm的分辨率，適用于需要較大運動范圍和高分辨率的

場合。而納米定位系統(tǒng)Z-STAGE.10則針對小范圍內的微小運動，同樣具有0.01nm的分辨率，適用于對精確位置控制要求較

高的情況。

PiezoCconcept硅傳感器則提供了閉環(huán)控制，并具有皮米級別的分辨率，可以實現(xiàn)更精確的運動控制。這些部件通過轉

接板連接到模擬控制器，實現(xiàn)對系統(tǒng)的全面控制和調節(jié)。

孔板尺寸為128.5 x 86.5毫米，

PiezoCconcept納米定位系統(tǒng)HS1.10和Z-STAGE.10提供了不同范圍的運動，分辨率達到了驚人的0.01納米級別。這對于需要高精度定位的應用來說是至關重要的。硅傳感器的閉環(huán)控制和皮米級別的分辨率進一步增強了系統(tǒng)的精確性。

PIEZOSYSTEM  緊湊型納米定位測量器