低壓真空等離子設(shè)備用于真空氣路的控制閥如何分類？
文章導(dǎo)讀：低壓真空等離子設(shè)備能夠在真空的環(huán)境下進(jìn)行材料等離子表面處理的設(shè)備，設(shè)備的激發(fā)頻率、激發(fā)能量、真空度、氣體流量、腔體結(jié)構(gòu)、氣體特性都是設(shè)備的基本參數(shù)。真空氣路控制的控制閥能夠?qū)崿F(xiàn)對氣路的通斷，從而控制真空度及其他參數(shù)。
用于低壓真空等離子設(shè)備真空氣路控制的控制閥，主要可分為三種，分別是高真空氣動擋板閥、電磁真空帶充氣閥、手動高真空角閥，它們的工作原理大致相同，基本都可以通過控制閥來實(shí)現(xiàn)真空氣路的通與斷以及測壓的功能，保障設(shè)備可靠穩(wěn)定地運(yùn)行，不同的是其各自所適用的設(shè)備種類有所區(qū)別。
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一、高真空氣動擋板閥
高真空氣動擋板閥也稱GDQ，一般情況下低壓真空等離子設(shè)備在短時間待機(jī)的情形下，真空泵會保持運(yùn)行的狀態(tài)，高真空氣動擋板閥可用于接通以及切斷真空管路中的氣流，從而能夠?qū)崿F(xiàn)真空腔體內(nèi)抽真空過程的開啟和關(guān)閉。高真空氣動擋板由壓縮空氣作為動力，具有運(yùn)行穩(wěn)定可靠、維護(hù)方便的優(yōu)點(diǎn)，是三類真空氣路控制閥中應(yīng)用較為廣泛的一種。
二、電磁真空帶充氣閥
電磁真空帶充氣閥屬于電磁閥類的控制閥，主要使用在真空泵隨運(yùn)行參數(shù)而開啟的低壓真空等離子設(shè)備上。工作原理是：當(dāng)真空泵開始運(yùn)行，電磁真空帶充氣閥隨之打開，當(dāng)真空泵關(guān)閉，此時閥門線圈斷電，閥門依靠機(jī)械力而關(guān)閉，可以防止真空泵內(nèi)油氣因真空腔體內(nèi)負(fù)壓而被倒吸。
電磁真空帶充氣閥具有安裝簡單的優(yōu)點(diǎn)，但穩(wěn)定性相對較差，如果長時間使用，閥門的磁力會衰退， 同時復(fù)位彈簧也容易出現(xiàn)反應(yīng)遲緩的情況，目前這類控制閥大多是被應(yīng)用于實(shí)驗(yàn)型的低壓真空等離子設(shè)備。
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