PTFE等離子蝕刻設備的原理和優(yōu)勢
文章導讀:PTFE也就是聚四氟乙烯,這種高分子的材料擁有出色的實用性,廣泛應用在原子能、醫(yī)學、半導體等行業(yè),可制做成薄膜、管板棒、軸承、墊圈、閥門及化工管道、管件、設備容器等部件;在使用中,我們可以使用ptfe蝕刻設備(ptfe等離子表面處理設備)進行表面處理,解決材料表面刻蝕問題,方便工藝制造。
PTFE也就是聚四氟乙烯,這種高分子的材料擁有出色的實用性,廣泛應用在原子能、醫(yī)學、半導體等行業(yè),可制做成薄膜、管板棒、軸承、墊圈、閥門及化工管道、管件、設備容器等部件;在使用中,我們可以使用ptfe蝕刻設備(ptfe等離子表面處理設備)進行表面處理,解決材料表面刻蝕問題,方便工藝制造。
1、等離子刻蝕原理介紹
等離子刻蝕,是干法刻蝕中最常見的一種形式,其原理是暴露在電子區(qū)域的氣體形成等離子體,由此產(chǎn)生的電離氣體和釋放高能電子組成的氣體,從而形成了等離子或離子,電離氣體原子通過電場加速時,會釋放足夠的力量與表面驅(qū)逐力緊緊粘合材料或蝕刻表面。
2、等離子刻蝕應用領域
如:等離子體清除浮渣、光阻材料剝離、表面處理、各向異性和各向同性失效分析應用材料改性、包裝清洗、鈍化層蝕刻、聚亞酰胺蝕刻、增強粘接力、生物醫(yī)學應用、聚合反應、混合物清洗、預結合清洗等。
3、等離子刻蝕優(yōu)勢介紹
3-1 材料廣闊:從微芯片到完整尺寸的卷材,任何形狀或復雜程度的基材,如膠帶,片材,管材,模壓形狀和任何配置的機加工部件,都可以進行蝕刻和粘合。
3-2 干法刻蝕:利用等離子體中的化學活性原子團與被刻蝕材料發(fā)生化學反應,整個過程無需水和化學溶劑的參與,更加環(huán)保。
3-3 工藝健康:等離子體產(chǎn)生只需電與工藝氣體,不會產(chǎn)生有害物質(zhì),對操作人員的身體沒有傷害;設備操作也非常簡單,智能化的操作屏,上手容易。
目前 刻蝕技術按工藝分類可分為濕法刻蝕和干法刻蝕,隨著技術以及工藝的不斷進步,干法刻蝕逐漸成為主流;國產(chǎn)等離子蝕刻設備不斷進步,逐步取代了進口設備,成為市場上的新選擇。

等離子刻蝕,是干法刻蝕中最常見的一種形式,其原理是暴露在電子區(qū)域的氣體形成等離子體,由此產(chǎn)生的電離氣體和釋放高能電子組成的氣體,從而形成了等離子或離子,電離氣體原子通過電場加速時,會釋放足夠的力量與表面驅(qū)逐力緊緊粘合材料或蝕刻表面。
2、等離子刻蝕應用領域
如:等離子體清除浮渣、光阻材料剝離、表面處理、各向異性和各向同性失效分析應用材料改性、包裝清洗、鈍化層蝕刻、聚亞酰胺蝕刻、增強粘接力、生物醫(yī)學應用、聚合反應、混合物清洗、預結合清洗等。

3-1 材料廣闊:從微芯片到完整尺寸的卷材,任何形狀或復雜程度的基材,如膠帶,片材,管材,模壓形狀和任何配置的機加工部件,都可以進行蝕刻和粘合。
3-2 干法刻蝕:利用等離子體中的化學活性原子團與被刻蝕材料發(fā)生化學反應,整個過程無需水和化學溶劑的參與,更加環(huán)保。
3-3 工藝健康:等離子體產(chǎn)生只需電與工藝氣體,不會產(chǎn)生有害物質(zhì),對操作人員的身體沒有傷害;設備操作也非常簡單,智能化的操作屏,上手容易。
目前 刻蝕技術按工藝分類可分為濕法刻蝕和干法刻蝕,隨著技術以及工藝的不斷進步,干法刻蝕逐漸成為主流;國產(chǎn)等離子蝕刻設備不斷進步,逐步取代了進口設備,成為市場上的新選擇。

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